ແຜ່ນຊິລິໂຄນແມ່ນເຮັດໂດຍການນໍາໃຊ້ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບແລະທາງເຄມີທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຊິລິໂຄນ. ແຜ່ນຊິລິໂຄນເປັນວັດສະດຸໂພລີເມີຂອງ polydimethylsiloxane. ໂມເລກຸນຊິລິໂຄນແມ່ນປະກອບດ້ວຍອະຕອມຂອງຊິລິໂຄນສະຫຼັບກັນ ແລະອະຕອມອົກຊີ. ໂຄງສ້າງແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບ quartz ແລະມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີແລະທາງດ້ານຮ່າງກາຍສູງ.
ແຜ່ນຊິລິໂຄນມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ດີເລີດ. ເຫດຜົນແມ່ນວ່າຫຼັງຈາກໂພລິເມີຊິລິໂຄນຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນ, ມີຈໍານວນຫລາຍຂອງຂ້າມ-ຕ່ອງໂສ້ (ຕ່ອງໂສ້ elastic) ລະຫວ່າງໂມເລກຸນ. ໂສ້-ໄມ້ກາງແຂນເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຍັບຍັ້ງການກະຕຸ້ນເຊິ່ງກັນແລະກັນ ແລະການເຄື່ອນໄຫວລະຫວ່າງໂມເລກຸນ, ດັ່ງນັ້ນແຜ່ນຊິລິໂຄນມີຄວາມຢືດຢຸ່ນ.
ຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນກໍ່ເປັນຫນຶ່ງໃນຄຸນສົມບັດທີ່ສໍາຄັນຂອງມັນ. ພະລັງງານພັນທະບັດຂອງ Si-O ໃນໂມເລກຸນຊິລິໂຄນແມ່ນສູງ, ເຊິ່ງສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ. ນອກຈາກນັ້ນ, ມີພັນທະບັດ hydrogen ແລະກໍາລັງ van der Waals ພາຍໃນໂມເລກຸນຊິລິໂຄນ, ເຊິ່ງເສີມສ້າງການພົວພັນລະຫວ່າງໂມເລກຸນຊິລິໂຄນແລະປັບປຸງການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງ.